玻璃晶圓
應用于CMOS、CCD傳感器、集成電路或微機械元件封裝(MEMS)、通信與數(shù)據(jù)處理、光學、電
子、家電、軍工、科研等高科技產(chǎn)品。
材料:康寧Eagle XG 、BOROFLOAT 33、石英玻璃、B270、D263T
標準厚度:0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm
技術(shù)指標:
標準尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)
外觀:60/40、40/20、20/10 表面粗糙度(Ra)<1.5nm
TTV/平整度≦2μm BOW/翹曲度≦5μm Warp/彎曲度≦5μm 各棱邊倒鈍:C0.05~0.2mm